2025年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)發(fā)展歷程、市場(chǎng)政策、產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、市場(chǎng)規(guī)模、競(jìng)爭(zhēng)格局及發(fā)展趨勢(shì)分析：市場(chǎng)格局較為分散[圖]

內(nèi)容概要：半導(dǎo)體設(shè)備零部件位于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游，為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展提供重要支撐，半導(dǎo)體行業(yè)遵循“一代技術(shù)、一代工藝、一代設(shè)備”的產(chǎn)業(yè)規(guī)律，半導(dǎo)體設(shè)備是延續(xù)行業(yè)“摩爾定律”的瓶頸和關(guān)鍵，其中，半導(dǎo)體設(shè)備零部件作為半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵構(gòu)成，是決定半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平的關(guān)鍵因素，半導(dǎo)體設(shè)備零部件不僅是半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一，也是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一，因此，我國(guó)高度重視半導(dǎo)體設(shè)備零部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展，近年來(lái)，我國(guó)相繼出臺(tái)眾多產(chǎn)業(yè)政策支持和鼓勵(lì)行業(yè)發(fā)展，在市場(chǎng)政策加持下，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)迅速崛起，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1887.9億元，同比增長(zhǎng)34.9%，其中，配套（含進(jìn)口裝備）市場(chǎng)占92.5%，更新維護(hù)市場(chǎng)占7.5%。在配套市場(chǎng)中，機(jī)械類占比最大，高達(dá)36.5%，其次為系統(tǒng)輸送系統(tǒng)和電器類，分別占16.1%和14.3%。

相關(guān)上市企業(yè)：先鋒精科（688605）、富創(chuàng)精密（688409）、江豐電子（300666）、珂瑪科技（301611）、凱德石英（920179）、Ferrotec（6890.T）、京鼎精密（3413.TW）、超科林（UCTT.O）、中科儀（830852.NQ）、菲利華（300395）、新萊應(yīng)材（300260）、阿為特（920693）、至純科技（603690）、北方華創(chuàng)（002371）、盛美上海（688082）、拓荊科技（688072）、華海清科（688120）

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)發(fā)展歷程、半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)政策、半導(dǎo)體設(shè)備零部件產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)規(guī)模、半導(dǎo)體設(shè)備零部件競(jìng)爭(zhēng)格局、半導(dǎo)體設(shè)備零部件發(fā)展趨勢(shì)

一、概述

半導(dǎo)體設(shè)備零部件是構(gòu)成半導(dǎo)體制造設(shè)備的基礎(chǔ)單元，是設(shè)備實(shí)現(xiàn)晶圓加工、檢測(cè)等核心功能的關(guān)鍵組成部分，直接影響設(shè)備的精度、穩(wěn)定性和使用壽命。半導(dǎo)體設(shè)備零部件是半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一，具有工藝精密、批量小、品種多等特點(diǎn)，半導(dǎo)體設(shè)備零部件涵蓋多個(gè)細(xì)分的領(lǐng)域，品類眾多，按結(jié)構(gòu)構(gòu)成來(lái)看，零部件可以分為機(jī)械、電氣、機(jī)電一體、氣體/液體/真空系統(tǒng)、儀器儀表和光學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，各類別均是半導(dǎo)體設(shè)備組成的重要構(gòu)件。

二、發(fā)展歷程

我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)的發(fā)展歷程，是從完全依賴進(jìn)口到本土企業(yè)逐步突圍、從低端配套到向高端領(lǐng)域滲透的過(guò)程，目前，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)已進(jìn)入追求高質(zhì)量和系統(tǒng)性突破的新階段，不再滿足于個(gè)別品類的替代，而是朝著全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同、高端領(lǐng)域全面滲透的方向推進(jìn)，上游材料企業(yè)、中游零部件廠商與下游設(shè)備廠、晶圓廠的聯(lián)動(dòng)愈發(fā)緊密，通過(guò)共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室、共享測(cè)試平臺(tái)等方式，同步推進(jìn)材料研發(fā)、零部件試制和工藝驗(yàn)證，大幅縮短了技術(shù)迭代周期，同時(shí)，本土企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)焦點(diǎn)也從單純的產(chǎn)品量產(chǎn)，轉(zhuǎn)向了原創(chuàng)技術(shù)研發(fā)和模塊化解決方案供應(yīng)。此外，長(zhǎng)三角、珠三角等產(chǎn)業(yè)集群的效應(yīng)愈發(fā)凸顯，整合了材料加工、性能檢測(cè)等各類資源，降低了行業(yè)整體成本，并且智能化、綠色化成為新的發(fā)展方向，企業(yè)開(kāi)始探索將AI技術(shù)融入零部件監(jiān)測(cè)，同時(shí)研發(fā)低能耗產(chǎn)品，以適配半導(dǎo)體制造智能化、綠色化的趨勢(shì)，行業(yè)整體正從規(guī)模擴(kuò)張向高質(zhì)量發(fā)展轉(zhuǎn)型。

三、市場(chǎng)政策

我國(guó)將半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控列為戰(zhàn)略目標(biāo)，近年來(lái)，相繼發(fā)布《關(guān)于集成電路企業(yè)增值稅加計(jì)抵減政策的通知》《制造業(yè)可靠性提升實(shí)施意見(jiàn)》《關(guān)于印發(fā)電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案的通知》《電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長(zhǎng)行動(dòng)方案》《關(guān)于推動(dòng)未來(lái)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實(shí)施意見(jiàn)》《關(guān)于加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展的意見(jiàn)》《貫徹實(shí)施〈國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展綱要〉行動(dòng)計(jì)劃（2024—2025年）》《關(guān)于促進(jìn)非銀行金融機(jī)構(gòu)支持大規(guī)模設(shè)備更新和消費(fèi)品以舊換新行動(dòng)的通知》《支持蘇州工業(yè)園區(qū)深化開(kāi)放創(chuàng)新綜合試驗(yàn)的若干措施》《關(guān)于推動(dòng)技能強(qiáng)企工作的指導(dǎo)意見(jiàn)》《關(guān)于促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》等一系列政策支持、鼓勵(lì)和規(guī)范半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重要配套之一的半導(dǎo)體設(shè)備零部件也受到眾多產(chǎn)業(yè)政策的支持。

四、產(chǎn)業(yè)鏈

我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)上游主要包括鋁合金、不銹鋼、鈦合金、超高純鎢、銅等金屬材料供應(yīng)商以及高純石英砂、陶瓷、石墨等非金屬材料供應(yīng)商，上游原材料的純度、性能直接決定下游零部件的質(zhì)量；行業(yè)中游為半導(dǎo)體設(shè)備零部件研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)等環(huán)節(jié)；行業(yè)下游為應(yīng)用與終端環(huán)節(jié)，中游零部件先供給半導(dǎo)體設(shè)備廠商，用于組裝光刻、刻蝕、薄膜沉積等各類制造及封測(cè)設(shè)備，隨后這些設(shè)備交付給晶圓廠和芯片封測(cè)企業(yè)，用于晶圓加工與芯片封裝測(cè)試，最終芯片產(chǎn)品流入消費(fèi)電子、汽車電子、AI、醫(yī)療電子等終端領(lǐng)域。

半導(dǎo)體設(shè)備作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，近年來(lái)，在下游快速發(fā)展的推動(dòng)下，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)整體保持較快增長(zhǎng)，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)行業(yè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)3528.8億元，同比增長(zhǎng)36.8%，下游市場(chǎng)持續(xù)繁榮為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)發(fā)展帶來(lái)廣闊的增長(zhǎng)空間。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)市場(chǎng)研究分析及未來(lái)前景研判報(bào)告》

五、發(fā)展現(xiàn)狀

半導(dǎo)體設(shè)備零部件位于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游，為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展提供重要支撐，半導(dǎo)體行業(yè)遵循“一代技術(shù)、一代工藝、一代設(shè)備”的產(chǎn)業(yè)規(guī)律，半導(dǎo)體設(shè)備是延續(xù)行業(yè)“摩爾定律”的瓶頸和關(guān)鍵，其中，半導(dǎo)體設(shè)備零部件作為半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵構(gòu)成，是決定半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平的關(guān)鍵因素，半導(dǎo)體設(shè)備零部件不僅是半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)中難度較大、技術(shù)含量較高的環(huán)節(jié)之一，也是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)“卡脖子”的環(huán)節(jié)之一，因此，我國(guó)高度重視半導(dǎo)體設(shè)備零部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展，近年來(lái)，我國(guó)相繼出臺(tái)眾多產(chǎn)業(yè)政策支持和鼓勵(lì)行業(yè)發(fā)展，在市場(chǎng)政策加持下，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)迅速崛起，據(jù)統(tǒng)計(jì)，2024年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1887.9億元，同比增長(zhǎng)34.9%，其中，配套（含進(jìn)口裝備）市場(chǎng)占92.5%，更新維護(hù)市場(chǎng)占7.5%。在配套市場(chǎng)中，機(jī)械類占比最大，高達(dá)36.5%，其次為系統(tǒng)輸送系統(tǒng)和電器類，分別占16.1%和14.3%。

六、競(jìng)爭(zhēng)格局

1、整體格局

雖然我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)“蛋糕”很大，但國(guó)產(chǎn)廠商分到的卻不多，曾經(jīng)，國(guó)內(nèi)很多設(shè)備廠商及晶圓制造廠商幾乎都以進(jìn)口零部件為主，但近年來(lái)，國(guó)產(chǎn)廠商加快布局零部件產(chǎn)品，部分頭部企業(yè)不斷在細(xì)分領(lǐng)域掌握自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，國(guó)產(chǎn)零部件廠商才逐步進(jìn)入國(guó)內(nèi)設(shè)備/晶圓制造企業(yè)的供應(yīng)鏈體系。但總體來(lái)看，由于半導(dǎo)體設(shè)備零部件種類繁多，加之半導(dǎo)體設(shè)備本身結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對(duì)加工精度、一致性、穩(wěn)定性要求較高，導(dǎo)致精密零部件制造工序繁瑣，技術(shù)難度大，行業(yè)內(nèi)多數(shù)企業(yè)只專注于個(gè)別生產(chǎn)工藝，或?qū)Ｗ⒂谔囟悴考a(chǎn)品，整體市場(chǎng)格局較為分散。

目前，國(guó)內(nèi)規(guī)模較大的半導(dǎo)體設(shè)備零部件主要為中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的京鼎精密和日本Ferrotec等外資企業(yè)的境內(nèi)子公司，其主要為國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備廠商供貨。在我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件內(nèi)資企業(yè)中，以富創(chuàng)精密、新萊應(yīng)材、江豐電子為代表的頭部企業(yè)，在各自細(xì)分領(lǐng)域已建立初步競(jìng)爭(zhēng)力，但與國(guó)際領(lǐng)先企業(yè)相比，在高端產(chǎn)品精度、可靠性及認(rèn)證周期方面仍存在差距。未來(lái)競(jìng)爭(zhēng)將聚焦于技術(shù)突破、客戶認(rèn)證與供應(yīng)鏈協(xié)同，國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程有望在政策支持下加速推進(jìn)，形成"低端領(lǐng)域全面替代、高端領(lǐng)域逐步突破"的雙軌發(fā)展態(tài)勢(shì)。

2、代表國(guó)產(chǎn)企業(yè)分析

（1）沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司

沈陽(yáng)富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司是半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，產(chǎn)品主要為半導(dǎo)體設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備及其他領(lǐng)域的精密零部件，主要包括：機(jī)械及機(jī)電零組件（腔體、內(nèi)襯、勻氣盤等工藝零部件及腔體模組、閥體模組等模組產(chǎn)品）、氣體傳輸系統(tǒng)（氣柜、氣體管路等產(chǎn)品），相關(guān)產(chǎn)品成功通過(guò)國(guó)內(nèi)外龍頭客戶驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。2025年上半年富創(chuàng)精密營(yíng)業(yè)總收入已完成17.24億元，其中，機(jī)械及機(jī)電零組件占68.56%，氣體傳輸系統(tǒng)占28.92%。

（2）寧波江豐電子材料股份有限公司

寧波江豐電子材料股份有限公司主要專注于超高純金屬濺射靶材、半導(dǎo)體精密零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，其中，半導(dǎo)體精密零部件包括金屬、陶瓷、樹(shù)脂等多種材料經(jīng)復(fù)雜工藝加工而成的精密零部件，主要用于半導(dǎo)體芯片以及平板顯示器生產(chǎn)線的機(jī)臺(tái)，覆蓋了包括 PVD、CVD、刻蝕、離子注入以及產(chǎn)業(yè)機(jī)器人等應(yīng)用領(lǐng)域，其生產(chǎn)過(guò)程對(duì)于材料精密制造技術(shù)、表面處理特種工藝等技術(shù)要求極高，產(chǎn)品主要出售給晶圓制造商作為設(shè)備使用耗材或出售給設(shè)備制造商用于設(shè)備生產(chǎn)。2025年上半年江豐電子營(yíng)業(yè)總收入已完成20.95億元，其中，精密零部件業(yè)務(wù)收入4.59億元，占營(yíng)業(yè)總收入的21.90%。

七、發(fā)展趨勢(shì)

1、國(guó)產(chǎn)替代從單點(diǎn)突破走向系統(tǒng)性滲透

此前國(guó)產(chǎn)零部件多在機(jī)械類等單一品類實(shí)現(xiàn)“點(diǎn)狀突破”，未來(lái)將進(jìn)入全品類協(xié)同替代的新階段，一方面，頭部晶圓廠和設(shè)備廠商會(huì)持續(xù)推行“國(guó)產(chǎn)優(yōu)先”采購(gòu)策略，還會(huì)聯(lián)合零部件企業(yè)搭建本地化測(cè)試線，大幅縮短國(guó)產(chǎn)零部件的驗(yàn)證周期，為其進(jìn)入供應(yīng)鏈打開(kāi)通道；另一方面，本土企業(yè)會(huì)針對(duì)射頻電源、靜電吸盤等此前依賴進(jìn)口的高端品類集中攻關(guān)，同時(shí)在機(jī)械類零件已實(shí)現(xiàn)較高自給率的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提升產(chǎn)品穩(wěn)定性，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)替代從成熟制程向先進(jìn)制程延伸，逐步改變高端領(lǐng)域被海外寡頭壟斷的格局。

2、技術(shù)研發(fā)聚焦高精密與新材料適配

隨著芯片制程不斷向更小尺度推進(jìn)，以及Chiplet、GAA晶體管等新架構(gòu)普及，市場(chǎng)對(duì)零部件的精度、耐極端環(huán)境能力等要求會(huì)持續(xù)提高，未來(lái)，半導(dǎo)體設(shè)備零部件研發(fā)重心將集中在兩方面，一是提升加工精度，比如研發(fā)適配EUV光刻設(shè)備的高精度光學(xué)部件，滿足納米級(jí)工藝需求；二是新材料的研發(fā)與應(yīng)用，像特種陶瓷、高純石英、碳化硅涂層等，這些材料能適配原子層沉積等新型工藝對(duì)耐高溫、耐腐蝕的要求，同時(shí)本土企業(yè)也會(huì)著力攻克超高純金屬材料的純度難題，縮小與海外在材料性能上的差距。

3、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同與產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)強(qiáng)化

產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同合作會(huì)愈發(fā)緊密。上游材料企業(yè)、中游零部件廠商、下游設(shè)備廠和晶圓廠將形成更高效的聯(lián)動(dòng)機(jī)制，通過(guò)共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室、共享測(cè)試平臺(tái)等方式，同步推進(jìn)材料研發(fā)、零部件試制和工藝驗(yàn)證，縮短技術(shù)迭代周期。同時(shí)，長(zhǎng)三角、珠三角等現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)的集群效應(yīng)會(huì)進(jìn)一步凸顯，這些區(qū)域?qū)⒄喜牧霞庸ぁ⑿阅軝z測(cè)、物流配套等各類資源，吸引更多上下游企業(yè)入駐，通過(guò)技術(shù)交流與資源共享，降低行業(yè)整體研發(fā)和生產(chǎn)成本。

4、智能化與綠色化成為重要發(fā)展方向

智能化方面，AI技術(shù)將廣泛融入零部件領(lǐng)域，比如在零部件上嵌入傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)運(yùn)行狀態(tài)，通過(guò)數(shù)據(jù)分析預(yù)判故障并預(yù)警，提升半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性和效率；同時(shí)，具備智能控制功能的零部件會(huì)增多，以適配半導(dǎo)體制造過(guò)程中自動(dòng)化、智能化的生產(chǎn)需求。綠色化方面，行業(yè)會(huì)更加注重環(huán)保和能效，一方面優(yōu)化零部件制造工藝，減少生產(chǎn)過(guò)程中的能耗和污染物排放；另一方面研發(fā)低能耗零部件，比如節(jié)能型真空泵等，契合全球制造業(yè)綠色轉(zhuǎn)型的大趨勢(shì)。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（m.rainbowgiftswholesale.com）發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)市場(chǎng)研究分析及未來(lái)前景研判報(bào)告》。智研咨詢是中國(guó)領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號(hào)，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。